甜梦文库

手机浏览器扫描二维码访问

第91章 激光平面干涉测量仪（第2页）

七车间就是生产光刻机光学系统的地方。

去年制造的试验光学系统用了半年时间，之后长光对工艺流程熟悉了、工人也熟练了，再加上两组人齐头并进，现在平均75天就可以生产一套光学系统。

说是一个车间，其实是一个20x60米的大厂房，中间还被分隔成很多个工作区。

镜片粗坯在这里先做铣磨，这其实就是粗磨，将镜片表面加工成差不多需要的模样，然后精磨固定R值。

精磨完毕的镜片只完成了工作量的15%～20%，之后是抛光-清洗，循环数次。磨边、镀膜、有的镜片组合需要在车间胶合。

“抛光粉这个小辅料也确实不简单，我们1952年开始做的时候低估抛光粉的重要性了，”总工说，“第一批生产的抛光粉并不好用，磨坏了一批镜片，还好只是苏六的镜片。”

“七车间使用的抛光粉规格在全厂最高，我们是在今年2月才做出来的，此前直到1955年1月，我们都在用苏联进口的氧化铈抛光粉。”

抛光粉首先要求是颗粒度绝对均匀，硬度要稍大于被抛光材料的硬度。光刻机光学镜头用的是质地较硬的玻璃，抛光粉得用氧化铈材质，直径略粗。

除了颗粒度绝对均匀，还要求无杂质，具有一定的晶格形态及缺陷，有适当的自锐性。

在加工光刻机镜片时，俗称“红粉”的氧化铁抛光粉就不能满足要求了，从1952年到1955年，长光还分出一组人去研制氧化铈抛光粉，三年乃成。

而且，玻璃表面的抛光不只用抛光粉一种原料，还有一种原料叫做抛光胶。玻璃表面的加工，先上抛光粉，再上抛光胶。

长光加工光刻机镜片，第一次用松香抛光胶，精度不达标，失败。现在换上的是沥青-松香混合抛光胶。

……

七车间的尽头，也是整个光学系统制造车间最高技术含量的地方，无尘精抛室。

在这里，唐华、王大衍、总工先去更衣室，换衣服换鞋、清洁全身、戴泳帽、戴口罩，就跟在隔壁光刻机工厂进入生产线时一样。

第一台非接触式光刻机昨天试运行时的工艺制程是10微米，和现在北京、上海的上一代生产线一样，不过这台光刻机还有提升的潜力，或许可支持7微米甚至5微米制程。

这个无尘精抛室里面，镜面加工的精度要求是1微米。

因此不得不把车间做成绝对无尘的洁净环境。灰尘、烟雾、头皮屑甚至口水都有可能报废已加工了几个小时的高精密抛光面。

三人进入无尘精抛室，新设备也带进来了，唐华和王大衍一人拉一个小车往车间的工作位走。

“长光为光刻机系统生产至关重要的零件。你们生产产品的工艺标准，可以说在很大程度上决定了光刻机所能达到的工艺天花板，也就决定了我们的计算机系统有多先进。”

唐华对总工说话。

“换句话说，我们的计算机系统的技术进步或者技术革命，必须建立在长光、长光七车间的技术进步、技术革命之上。”

“好在当今工业体系的每一个类别每一个部门相互之间都是有联系的。就像我刚才说的，光学仪器生产厂和计算机产业已经产生了联系，但我要强调的是，光学仪器和计算机产业的联系不是单向的，而是双向的。”

“光学仪器生产厂为计算机产业提供了工作母机，相应地，计算机产业也能反过来支持光学仪器厂，帮助你们技术进步、技术革命。这算是反哺，也算是产业技术进步的大回旋。”

到了精抛室的抛光工位，唐华和王大衍将小车停下来，整理两台小车上放置的设备：

激光平面干涉测量仪。

……

“激光平面干涉仪是一种非接触式、高精度无损光学表面测量设备。它基于菲索干涉也就是移相干涉原理，通过分析干涉条纹来确定光学表面面形。”

“激光平面干涉仪可以用于高精度的平面面形、球面面形曲率半径测量和分析。可以做平面楔角测量，也就是给直角棱镜测量直角偏差。其实它也能测量任意角度的加工偏差。还可以做光学材料均匀性测量，角锥角度和面形偏差测量……其实你们厂特别是七车间很多地方都能用到它，你们看到的是第一台产品，接下来苏州方面会有十几台干涉仪往长春送。”